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海德漢敞開式直線光柵尺選型指南
點(diǎn)擊次數(shù):2072 更新時(shí)間:2022-01-07

敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括:

· 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

· PCB電路板組裝機(jī)

· 超高精度機(jī)床

· 高精度機(jī)床

· 測(cè)量機(jī)和比較儀,測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備

· 直驅(qū)電機(jī)

絕對(duì)式編碼器

系列

說明

LIC

LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動(dòng)進(jìn)行絕對(duì)位置測(cè)量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同。

輸出位置值的編碼器

系列

說明

LIP 200

LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號(hào)在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣,借助參考點(diǎn)確定絕對(duì)原點(diǎn)。

增量式編碼器

系列

說明

LIP

超高精度

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測(cè)量步距,*的精度和重復(fù)精度。掃描方式為干涉掃描,測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。

LIF

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵,采用干涉掃描方法。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高,安裝特別簡(jiǎn)單,有限位開關(guān)和回零軌。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中(參見其單獨(dú)產(chǎn)品信息")。

LIDA

高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量長(zhǎng)度

LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝特別簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。

PP

二維坐標(biāo)測(cè)量

PP二維編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,采用干涉掃描方法。用于測(cè)量平面中位置。

LIP/LIF

高真空和超高真空技術(shù)

我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息,參見真空中應(yīng)用的直線光柵尺"產(chǎn)品信息。

以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。

高真空:LIP 481 VLIF 481 V 
超高真空:LIP 481 U

LIC 4100選型指南

型號(hào)

基線誤差

基體和安裝方式

細(xì)分誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí)

局部

LIC 4113
LIC 4193

± 3 μm
± 5 μm

≤ ± 0.275 μm/ 10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光柵尺,嵌入在安裝面中

± 20 nm

240 mm 3040 mm

LIC 4115
LIC 4195

± 5 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊

± 20 nm

140 mm  28440 mm

LIC 4117
LIC 4197

± 3 μm
± 5 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定

± 20 nm

240 mm  6040 mm

LIC 4119
LIC 4199

± 3 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上

± 20 nm

70 mm  1020 mm

LIC 4119 FS

± 3 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上

± 20 nm

70 mm  1820 mm

LIC 2100

型號(hào)

基線誤差

基體和安裝方式

細(xì)分誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí)

局部

LIC 2117
LIC 2197

± 15 μm

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定

± 2 μm

120 mm  3020 mm

LIC 2119
LIC 2199

± 15 μm

鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上

± 2 μm

120 mm  3020 mm

LIP 系列具有*的精度選型指南

外露式線性編碼器由 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

模型

精度等級(jí)

基板和安裝

插值誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

唇 300

± 0.5 微米

Zerodur 玻璃陶瓷嵌入螺栓固定的殷鋼載體中

± 0.01 納米

70 毫米至 270 毫米

產(chǎn)品變體

唇 200

± 1 μm
± 3 μm

帶固定夾的 Zerodur 玻璃陶瓷刻度

± 1 納米

20 毫米至 3040 毫米

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

掃描頭

LIP 6000

±1 μm (< 1020 mm) ±3 μm

Zerodur 玻璃陶瓷的刻度,通過粘合劑或固定夾

± 4 納米

20 毫米至 3040 毫米

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

掃描頭

高精度 LIF 系列選型指南

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí)

間隔

LIF 400

± 1 μm
± 3 μm

≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米

Zerodur 玻璃陶瓷或玻璃的刻度,用 PRECIMET 膠膜粘合

± 12 納米

70 毫米至 1640 毫米

LIDA 400 系列用于高移動(dòng)速度和大測(cè)量長(zhǎng)度

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí)

間隔

利達(dá) 473
利達(dá) 483

± 1 μm
± 3 μm
± 5 μm

≤ ± 0.275 微米/ 10 毫米

玻璃或玻璃陶瓷刻度,粘合到安裝表面

± 45 納米

240 毫米至 3040 毫米

利達(dá) 475
利達(dá) 485

± 5 微米

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼尺帶拉入鋁擠壓件并張緊

± 45 納米

140 毫米至 30040 毫米

利達(dá) 477
利達(dá) 487

± 3 μm
± 5 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定

± 45 納米

240 毫米至 6040 毫米

LIDA 479
LIDA 489

± 3 微米
± 15 微米

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼帶,粘合到安裝表面

± 45 納米

高達(dá) 6000 毫米

LIDA 200 系列用于高移動(dòng)速度和大測(cè)量長(zhǎng)度

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度等級(jí)

間隔

利達(dá) 277
利達(dá) 287

± 15 微米

鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定

± 2 微米

高達(dá) 10000 毫米

利達(dá) 279
利達(dá) 289

± 15 微米

鋼尺帶,粘在安裝面上

± 2 微米

高達(dá) 10000 毫米

二坐標(biāo)測(cè)量用PP系列

模型

精度等級(jí)

基板和安裝

插值錯(cuò)誤

測(cè)量長(zhǎng)度

聚丙烯 281

± 2 微米

玻璃格板, 
全表面貼合

± 12 納米

測(cè)量范圍 68x68mm

LIP/LIF 系列適用于高真空和超高真空技術(shù)

類型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測(cè)量長(zhǎng)度

精度
等級(jí)

間隔


481V 唇 481U

± 0.5 微米
± 1 微米

≤ ± 0.175 微米/ 5 毫米

Zerodur 玻璃陶瓷或帶固定夾的玻璃刻度

± 7 納米

70 毫米至 420 毫米

LIF 471V
LIF 481V

± 3 微米

≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米

± 12 納米

70 毫米至 1640 毫米

LIC 4113 V
LIC 4193 V

±1 µm(僅適用于 Robax 玻璃陶瓷)、±3 µm、±5 µm

≤ ±0.275 微米/10 毫米

玻璃陶瓷或玻璃上的 METALLUR 光柵

± 20 納米

240 毫米至 3040 毫米